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日立
「電界放出形電子顕微鏡の実用化」が
「IEEEマイルストーン」に認定

(2012/1/31)

●問い合わせ先
(株)日立製作所
ブランド・コミュニケーション本部 広報・IR部
TEL 03-5208-9324
http://www.hitachi.co.jp
(株)日立ハイテクノロジーズ
CSR本部 コーポレート・コミュニケーション部
TEL 03-3504-3258
http://www.hitachi-hitec.com

世界に先駆けて実用化したFE-SEM「HFS-2形(1972年発売)
世界に先駆けて実用化したFE-SEM
「HFS-2形(1972年発売)

 (株)日立製作所(以下,日立)と(株)日立ハイテクノロジーズ(以下,日立ハイテク)は,電気・電子・情報・通信分野の世界最大の学会であるIEEEより,日立が世界に先駆けて「電界放出形電子顕微鏡」を実用化した功績に対して,「IEEEマイルストーン」の認定を受けた。

  IEEEマイルストーンは,電気・電子・情報・通信の分野において達成されたイノベーションの中で,開発から25年以上が経過し,社会や産業の発展に多大な貢献をしたと認定される歴史的偉業を表彰する制度として,1983年に創立された。

  日立は,1968年にアルバート・クリュー氏(元シカゴ大学教授(故人))の開発したFE電子源を,クリュー氏と共同で実用化した後,1972年に走査電子顕微鏡に搭載し,世界初の商用FE-SEM「HFS-2形」の実用化に成功した。「HFS-2形」は,簡単な操作で,安定度,信頼度の高い超高分解能画像の観察を実現。その後も本技術を応用し,半導体製造ラインでプロセス管理に用いられる測長SEMを製品化し,当時の半導体デバイスの微細化へ貢献するとともに,日立のFE-SEMを用いることにより,世界初のエイズウィルスのSEM像の観察に成功するなど,医療,バイオ分野の発展にも寄与してきた。さらには,FE電子源を使用した電界放出形透過電子顕微鏡(FE-TEM)を応用した電子線ホログラフィーによりアハラノフ・ボーム効果が実証されるなど,科学技術の検証や発展にも大きな役割を果たしてきた。

  なお,日立ハイテクは,日立グループの技術専門商社であった日製産業(株)と日立の計測器グループおよび半導体製造装置グループが,2001年に統合された会社であり,現在,電子顕微鏡の製造・販売・サービスは,日立ハイテクグループで行っており,今回,日立と連名で認定を受けている。

■「IEEE マイルストーン」の認定について
現在,世界で約120件が「IEEEマイルストーン」に認定され,そのうち日本では,本件を含め,以下の16件が認定されている。

  • 1995年  6月  八木・宇田アンテナ(1924年)
  • 2000年  3月  富士山頂レーダ(1964年)
  • 2000年  7月  東海道新幹線(1964年)
  • 2004年 11月  電子式水晶腕時計(1969年)
  • 2005年 12月  電卓の先駆的開発(1964年から1973年)
  • 2006年 10月  家庭用ビデオVHS(1976年)
  • 2007年 11月  鉄道自動改札(1965年から1971年)
  • 2008年 11月  日本語ワープロ(1971年から1978年)
  • 2009年  5月  依佐美送信所(1929年)
  • 2009年 10月  フェライト開発・応用(1930年から1945年)
  • 2009年 11月  電子式TVの開発(1924年から1941年) , 太平洋横断TV衛星中継(1963年)
  • 2010年  4月  黒部川第四発電所(1956年から1963年),太陽電池の産業化(1959年から1983年)
  • 2011年 11月  直接衛星放送サービス(1984年)
  • 2012年  1月  電界放出形電子顕微鏡の実用化(1972年)【今回】